[1]. Electret MEMS Vibration Energy Harvester with Reconfigurable Frequency Response
Sensors and Materials 35/6 1957-1983 （2023年） [査読] 有 [国際共著論文] 該当しない
[責任著者・共著者の別] 責任著者
[著者] Gen Hashiguchi :: HiroshiToshiyoshi [備考] 理論、実験を担当
[DOI]
[2]. Improvement of the Reliability of Potassium-ion Electrets thorough an Additional Oxidation Process
Applied Physics Letters 121/24 - 243903 （2022年） [査読] 有 [国際共著論文] 該当しない
[責任著者・共著者の別] 共著者
[著者] Yoshiki Ohata $$ Toru Nakanishi $$ Kenta Chokawa $$ Masaaki Araidai $$ Takuma Ishiguro $$ Hiroyuki Mitsuya $$ Hiroshi Toshiyoshi, $$ Yasushi Shibata, $$ Gen Hashiguchi $$ Kenji Shiraishi [備考] エレクトレット作製工程及び劣化データ
[DOI]
[3]. Effect of carbon atoms on the reliability of potassium-ion electrets used in vibration-powered generators
Japanese Journal of Applied Physics 61/ - SH1013 （2022年） [査読] 有 [国際共著論文] 該当しない
[責任著者・共著者の別] 共著者
[著者] Yoshiki Ohata $$ Masaaki Araidai $$ Yasushi Shibata $$ Gen Hashiguchi, $$ Kenji Shiraishi [備考] エレクトレット劣化データの提供
[DOI]
[4]. Two orders agreement between stiffness measurement of µ-scale beam with analytical, macroscopic predictions(Accepted)
Sensors and Actuators: A. Physical 337/ - 113448 （2022年） [査読] 有 [国際共著論文] 該当しない
[責任著者・共著者の別] 共著者
[著者] Takaaki Sato $$ Gen Hashiguchi $$ Hiroyuki Fujita [DOI]
[5]. エレクトレットMEMSの創生 (掲載予定）
静電気学会誌 46/2 55-59 （2022年） [査読] 無 [国際共著論文] 該当しない
[責任著者・共著者の別] 責任著者
[著者] 橋口 原 [備考] 解説記事
[6]. Power Generation Demonstration of Electrostatic Vibrational Energy Harvester with Comb Electrodes and Suspensions Located in Upper and Lower Deck(accepted)s
Sensors and Materials 34/4 1527-1538 （2022年） [査読] 有 [国際共著論文] 該当しない
[責任著者・共著者の別] 共著者
[著者] Hiroaki Honma $$ Hiroyuki Mitsuya $$ Gen Hashiguchi $$ Hiroyuki Fujita $$ Hiroshi Toshiyoshi [DOI]
[7]. Imaging of an electret film fabricated on a micro-machined energy harvester by a Kelvin probe force microscope(accepted)
IEEE Instrumentation and Measurement 71/ - 4501907 （2022年） [査読] 有 [国際共著論文] 該当しない
[責任著者・共著者の別] 共著者
[著者] Kenta Nakazawa, Kengo Fukazawa, Takeshi Uruma, Gen Hashiguchi, and Futoshi Iwata [備考] K. Nakazawa, K. Fukazawa, T. Uruma, G. Hashiguchi and F. Iwata, "Imaging of an Electret Film Fabricated on a Micro-Machined Energy Harvester by a Kelv
[8]. MEMS switching voltage regulator using a normally-on electret relay(accepted)
IEEE Journal of Microelectromechanical Systems 31/3 424-434 （2022年） [査読] 有 [国際共著論文] 該当しない
[責任著者・共著者の別] 責任著者
[著者] Mizuki Morikawa $$ Yasushi Shibata $$ Hiroshi Toshiyoshi $$ Gen Hashiguchi [備考] M. Morikawa, Y. Shibata, H. Toshiyoshi and G. Hashiguchi, "MEMS Switching Voltage Regulator Using a Normally-On Electret Relay," in Journal of Microel
[DOI]
[9]. Power Enhancement of MEMS Vibrational Electrostatic Energy Harvester by Stray Capacitance Reduction
Journal of Micromechanics and Microengineering 31/12 125008- （2021年） [査読] 有 [国際共著論文] 該当しない
[責任著者・共著者の別] 共著者
[著者] Hiroaki Honma, Yukiya Tohyama1, Hiroyuki Mitsuya, Gen Hashiguchi, Hiroyuki Fujita and Hiroshi Toshiyoshi1 [DOI]
[10]. カリウムイオンエレクトレットにおける負電荷蓄積機構の 第一原理計算による検討
電気学会論文誌E 141/8 292-298 （2021年） [査読] 有 [国際共著論文] 該当しない
[責任著者・共著者の別] 共著者
[著者] 中西 徹, 宮島 岳史, 長川 健太, 洗平 昌晃, 杉山 達彦, 橋口 原, 白石 賢二 [DOI]
[11]. Negative-charge-storing mechanism of potassium-ion SiO2-based electrets for vibration-powered generators
Applied Physics Letters 117/ 193902 - （2020年） [査読] 有 [国際共著論文] 該当しない
[責任著者・共著者の別] 共著者
[著者] Toru Nakanishi, Takeshi Miyajima, Kenta Chokawa, Masaaki Araidai Hiroshi Toshiyoshi, Tatsuhiko Sugiyama, Gen Hashiguchi4, and Kenji Shiraishi [備考] 理論の検証を担当
[DOI]
[12]. 環境振動MEMS発電素子とIoT無線センサ応用
超音波Techno 32/3 33-37 （2020年） [査読] 無 [国際共著論文] 該当しない
[責任著者・共著者の別] 共著者
[著者] 年吉洋 \\ 遠山幸也 \\ 本間浩章 \\ 三屋裕幸 \\ 橋口原 [備考] 解説記事
[13]. エレクトレットを用いたＭＥＭＳ振動発電子の開発
化学工学 84/6 24-26 （2020年） [査読] 無 [国際共著論文] 該当しない
[責任著者・共著者の別] 責任著者
[著者] 年吉洋 \\ 橋口原 [備考] 解説記事
[14]. An Electret-Augmented Low-Voltage MEMS Electrostatic Out-of-Plane Actuator for Acoustic Transducer Applications
micromachines accepted/ - （2020年） [査読] 有 [国際共著論文] 該当しない
[責任著者・共著者の別] 共著者
[著者] Chikako Sano $$ Manabu Ataka $$ Gen Hashiguchi $$ Hiroshi Toshiyoshi
[15]. A Method to Determine the Electret Charge Potential of MEMS Vibrational Energy Harvester using Pure-White Noise
IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing Early Access Articles/ - （2020年） [査読] 有 [国際共著論文] 該当しない
[責任著者・共著者の別] 共著者
[著者] Hiroyuki Mitsuya \\ Hisayuki Ashizawa \\ Noriko Shimomura \\ Hiroaki Honma \\ Gen Hashiguchi \\ Hiroshi Toshiyoshi, [備考] : IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing
DOI: 10.1109/TSM.2020.2983442
[DOI]
[16]. 東浜駅でのゼロ・エネルギー・ステーション(ZES)の実現と環境発電への挑戦
鉄道と電気技術 31/1 42-47 （2020年） [査読] 無 [国際共著論文] 該当しない
[責任著者・共著者の別] 共著者
[著者] 明石太輔、仲野淳、中川聰、小林靖、橋口原、芝田泰、湯浅基和、真弓聡 [備考] 一般社団法人 日本鉄道電気技術協会
ISSN 0915-9231
[17]. Analytical Model for MEMS Electret Energy Harvester with Long-stroke Tip-sliding Electrodes
Sensors and Materials 9/9 2779-2802 （2019年） [査読] 有 [国際共著論文] 該当しない
[責任著者・共著者の別] 共著者
[著者] Yukiya Tohyama \\ Hiroaki Honma \\ Brieux Durand \\ Tatsuhiko Sugiyama \\ Gen Hashiguchi \\ and Hiroshi Toshiyoshi
[18]. A power-density-enhanced MEMS electrostatic energy harvester with symmetrized high-aspect ratio comb electrodes
Journal of Micromechanics and Microengineering 29/ 084002 (9pp)- （2019年） [査読] 有 [国際共著論文] 該当しない
[責任著者・共著者の別] 共著者
[著者] Honma, Hiroaki; Tohyama, Yukiya; Mitsuya, Hiroyuki; Hashiguchi, Gen; Fujita, Hiroyuki; Toshiyoshi, Hiroshi [備考] JMM-104186.R2
[19]. IoT電源としての振動発電技術
日本機械学会誌 121/1201 22-25 （2018年） [査読] 無 [国際共著論文] 該当しない
[責任著者・共著者の別] 共著者
[著者] 神野伊策、谷弘詞、橋口原 [備考] 静電発電の部分を担当
[20]. カリウムイオンエレクトレットを用いた新しいＭＥＭＳ技術の展開
応用物理 87/6 436-440 （2018年） [査読] 無 [国際共著論文] 該当しない
[責任著者・共著者の別] 責任著者
[著者] 橋口 原、杉山達彦、年吉 洋 [備考] ほぼ全体を執筆
[21]. Improvement of Energy Conversion Effectiveness and Maximum Output Power of Electrostatic Induction-type MEMS Energy Harvesters by using Symmetric Comb-electrode Structures
Journal of Micromechanics and Microengineering 28/ 064005- 064017 （2018年） [査読] 有 [国際共著論文] 該当しない
[責任著者・共著者の別] 責任著者
[著者] Honma Hiroaki & Mitsuya Hiroyuki & Hashiguchi Gen & Fujita Hiroyuki & Toshiyoshi Hiroshi
[22]. A Fluidic Vibrational Energy Harvester for Implantable Medical Device Applications
Electronics and Communications in Japan 137/6 152- 158 （2018年） [査読] 有 [国際共著論文] 該当しない
[責任著者・共著者の別] 共著者
[著者] Satoshi Inoue, Takuya Takahashi & Momoko Kumemura & Kazunori Ishibashi & Hiroyuki Fujita & Gen Hashiguchi & Hiroshi Toshiyoshi [備考] エレクトレット膜形成部分を担当
[DOI]
[23]. Development of a Cantilever-Type Electrostatic Energy Harvester and Its Charging Characteristics on a Highway Viaduct
micromashines 8/(num) mi8100293- (zzz) （2017年） [査読] 有 [国際共著論文] 該当しない
[責任著者・共著者の別] 責任著者
[著者] [責任著者]Hideaki Koga,Gen Hashiguchi [共著者]Hiroyuki Mitsuya,Hiroaki Honma,Hiroyuki Fujita,Hiroshi Toshiyoshi [備考] 論文構成、論文全体の修正を担当
[24]. 体内インプラント医療器具を想定した流体振動型エナジー・ハーベスタ
電気学会論文誌Ｅ 137/6 152- 158 （2017年） [査読] 有 [国際共著論文] 該当しない
[責任著者・共著者の別] 共著者
[著者] [責任著者]井上聡史 [共著者]井上聡史 && 高橋巧也 && 久米村百子 && 石橋和徳 && 藤田博 && 橋口 原 && 年吉 洋 [備考] エレックトレット形成法に関する部分
[25]. アルカリイオンを利用したＭＥＭＳ用エレクトレット技術とその応用
自動化推進 46/1 16-19 （2017年） [査読] 無 [国際共著論文] 該当しない
[責任著者・共著者の別] 責任著者
[著者] 橋口 原
[26]. MEMS electrostatic inductive transformer using potassium ion electrets for up- or down-conversion of AC current
Japanese Journal of Applied Physics 55/(num) 107201- (zzz) （2016年） [査読] 有 [国際共著論文] 該当しない
[責任著者・共著者の別] 責任著者
[著者] [責任著者]Masato SUzuki && Gen Hashiguchi [共著者]Takashi Moriyama && Hiroshi Toshiyoshi [備考] トランスとして動作させる原理を考案、分担執筆
[DOI]
[27]. A bistable comb-drive electrostatic actuator biased by the built-in potential of potassium ion electret
Journal of Micro Electro-Mechanical Systems 25/4 652- 661 （2016年） [査読] 有 [国際共著論文] 該当しない
[責任著者・共著者の別] 共著者
[著者] [責任著者]Masato Suzuki [共著者]Hisayuki Achizawa && Yasuhide Fujita && Hiroyuki Mitsuya && Tatsuhiko Sugiyama && Manabu Ataka && Hiroshi Toshiyoshi && Gen Hashiguchi [備考] ラプラス変換による定式化、実験手順及びデータ取得の方法を担当。またデータの解釈についても担当した。
[28]. 高電荷密度エレクトレットの形成とデバイス応用
電気学会誌 136/3 159-162 （2016年） [査読] 無 [国際共著論文] 該当しない
[責任著者・共著者の別] 責任著者
[著者] 橋口 原 [備考] 電気学会発行
雑誌06415-12
[29]. Charging mechanism of electret film made of potassium-ion-doped SiO2
AIP advances 6/3 035004- （2016年） [査読] 有 [国際共著論文] 該当しない
[責任著者・共著者の別] 責任著者
[著者] G.Hashiguchi && D.Nakasone && T.Sugiyama && M.Ataka && H.Toshiyoshi [備考] 筆頭著者として全編を執筆。実験モデルの立案、検証実験方法の考案を担当。
[DOI]
[30]. カリウムイオンエレクトレットを用いた新しいMEMS技術の展開
化学工業 67/1 20- 25 （2016年） [査読] 無 [国際共著論文] 該当しない
[責任著者・共著者の別] 責任著者
[著者] 橋口 原 [備考] 化学工業社
雑誌02331-1
[31]. A Reliability Study on Potassium Ion Electret in Silicon Oxide for Vibrational Energy Harvester Applications(accepted)
Jpn.J. Appl. Phys. 54/6 067201 - (zzz) （2015年） [査読] 有 [国際共著論文] 該当しない
[責任著者・共著者の別] 共著者
[著者] [責任著者]Hiroshi Toshiyoshi [共著者]Kensuke Misawa,Tatsuhiko Sugiyama,Gen Hashiguchi,Hiroshi Toshiyoshi [備考] Published 30 April 2015
[DOI]
[32]. In Situ Measurement of Charging Process in Electret-Based Comb-Drive Actuator and High-Voltage Charging
Journal of Microelectromechanical Systems (IEEE/ASME) 24/4 1052- 1060 （2015年） [査読] 有 [国際共著論文] 該当しない
[責任著者・共著者の別] 共著者
[著者] [責任著者]橋口 原 [共著者]芝田 泰,杉山 達彦,三村 秀典,橋口 原 [備考] IF:1.915
発電理論、及びハードスプリングに関する理論を担当
[DOI]
[33]. 電気回路シミュレータを用いたエレクトレットＭＥＭＳ素子の設計
電気学会論文誌Ｅ 134/11 357-365 （2014年） [査読] 有 [国際共著論文] 該当しない
[責任著者・共著者の別] 共著者
[著者] [責任著者]年吉 洋 [共著者]見澤謙佑,丸山智史,橋口 原,年吉 洋 [備考] IFなし。エレクトレットデバイスの設計と実験データを測定した。
見澤謙佑、丸山智史、橋口 原、年吉 洋、「電気回路シミュレータを用いたエ
レクトレットＭＥＭＳ素子の設計」、電気学会論文誌Ｅ、Vol. 134、No. 11、
pp. 357-365.
[34]. (Review paper) Electromechanical theory of microelectromechanical devices
IEICE Electronics Express (ELEX) 11/18 1-15 （2014年） [査読] 有 [国際共著論文] 該当しない
[責任著者・共著者の別] 責任著者
[著者] 橋口 原 [備考] IF:0.391
ＭＥＭＳ素子の電気機械練成モデリング法の概要を説明した。ラグランジュ関数を用いたモデンリグと等価回路導出法を、静電型、圧電型、電磁型のそれぞれについて示すとともに、振動発電素子として利用した場合の特性を述べた。
[35]. 高い電流利得を有するVibration-body Field-Effect Transistor の提案
電気学会論文誌E（センサ・マイクロマシン部門誌) 133/11 332-336 （2013年） [査読] 有 [国際共著論文] 該当しない
[責任著者・共著者の別] 責任著者
[著者] [責任著者]橋口 原 [共著者]植木真治,西森勇貴,三輪和弘,中川慎也,橋口 原 [備考] チャネル部分が機械的に振動するVB-FETは、通常チャネル部分が長く、厚みが薄いためコンダクタンスが小さくなってしまう。そこで、チャネルを厚み方向に形成する手法を提案し、その解析を行った。解析にはＲＣラダー回路を用いたチャネル近似をラグラジアンで表現して運動方程式を導出した。解析の結果、相互コンダク
[36]. A single cell gene detection using micro-tweezers and the microchamber polymerase chain reaction for the fetal DNA analysis
Sensors and Actuators B 178/1 678- 682 （2013年） [査読] 有 [国際共著論文] 該当しない
[責任著者・共著者の別] 共著者
[著者] [責任著者]Keiichiro Yamanaka [共著者]Masato Saito,Mikiko Kita,Yuzuru Takamura,Gen Hashiguchi,Eiichi Tamiya [備考] 胎児赤血球細胞をマイクロピンセットで選択的に取り出し、PCRにより遺伝子分析ができることを示した。マイクロピンセットはシリコンのMEMSピンセットで細胞を損傷することなく把持できることが分かった。把持した細胞をそのままPCRチャンバ上に持っていき、PCRによる遺伝子増幅を行うことができた。このような
[37]. Effect of neutral beam etching on mechanical properties of micro-cantilevers
Journal of Vacuum Science & Technology B 31/2 022001-(7pp) （2013年） [査読] 有 [国際共著論文] 該当しない
[責任著者・共著者の別] 責任著者
[著者] [責任著者]橋口 原 [共著者]Yuki Nishimori,Shinji Ueki,Kazuhiro Miwa,Tomohiro Kubota,Masakazu Sugiyama,Gen Hashiguchi [備考] 中性粒子ビームエッチングがシリコンマイクロカンチレバーに及ぼす影響を調べた。まずエッチングによるダメージを調査し、中性粒子ビームエッチングではほとんどダメージが入らないことを確認した。次に予めダメージの入っているサンプルのダメージ除去効果についても調べた。その結果中性粒子ビームはダメージを除去する効
[38]. Electric contact stability of anti-wear probes
IEICE Electronics Express 9/21 1675-1682 （2012年） [査読] 有 [国際共著論文] 該当しない
[責任著者・共著者の別] 共著者
[著者] [責任著者]Yasushi Tomizawa [共著者]Yongfang Li,Akihiro Koga,Hiroshi Toshiyoshi,Yasuhisa Ando,Geb Hashiguchi [備考] マイクロプローブ先端部の電気的なコンタクトにおける磨耗特性を改善するために、新しい形のプローブを開発した。開発したプローブの電気抵抗評価を磨耗特性と同時に測定し、電気コンタクト特性が大きく改善された。また金属材料に磨耗特性は大きく依存していることが分かった。
本人担当部分：磨耗を低減するプローブの
[39]. Modeling of Vibrating-body Field-Effect Transistors Based on the Electromechanical Interactions Between the gate and the Channel
IEEE Transactions on Electron Devices 59/8 2235-2242 （2012年） [査読] 有 [国際共著論文] 該当しない
[責任著者・共著者の別] 責任著者
[著者] [責任著者]橋口 原 [共著者]Shinji Ueki,Yuki Nishimori,Hiroshi Imamoto,Tomohiro Kubota,Kuniyuki Kakushima,Gen Hashiguchi [備考] MOSトランジスタのチャネルがMEMS振動子側に形成され機械的に変位するVB-FETの解析モデルを提案した。本手法はチャネルをRCラダー回路によって近似し、素子のラグラジアンをRCラダーを含めて定義している。得られたラグラジアンから運動方程式を導出し、その連立方程式を解くことで所望の特性がシミュレー
[40]. SiO2 Electret Generated by Potassium Ions on a Comb-Drive Actuator
Applied Physics Express 4/11 114103-(3pp) （2011年） [査読] 有 [国際共著論文] 該当しない
[責任著者・共著者の別] 責任著者
[著者] [責任著者]橋口 原 [共著者]Tatsuhiko Sugiyama,Mitsuru Aoyama,Yasushi Shibata,Masato Suzuki,Takashi Konn,Gen Hashiguchi [備考] カリウムイオンを用いた新しいエレクトレット膜作製方法を開発した。本手法はシリコンMEMSデバイスの製造ﾌﾟﾛｾｽと極めて整合性がよく安価で大量生産が可能である。シリコンの水蒸気酸化時に水酸化カリウム水溶液をバブリングしたガスで酸化することで酸化膜中にカリウムイオンを大量に取り込み、分極処理で帯電させ
[41]. Single-DNA-molecule trapping with silicon nanotweezers using pulsed dielectrophoresis
Journal of Micromechanics and Microengineering 21/ 054020- （2011年） [査読] 有 [国際共著論文] 該当する
[責任著者・共著者の別] 責任著者
[著者] [責任著者]Momoko Kumemura [共著者]Dominique Collard,Naoyoshi Sakaki,Christophe Yamahata,Maho Hosogi,Gen Hashiguchi [備考] MEMSピンセットを用いた単一DNA分子のトラップに成功した。通常MEMSピンセットをトラップする場合、高周波電圧を連続的に印加するが、DNA溶液の速い流れが生じ、DNA分子の密度を少なくしたDNA溶液でのトラップは困難であった。そこでパルス電圧を制御することで溶液の流速を抑制することで、MEMSピ
[42]. Method to Evaluate the Influence of Etching Damage on Microcantilever Surface on Its Mechanical Properties
Japanese Journal of Applied Physics 50/2 026503-(6pp) （2011年） [査読] 有 [国際共著論文] 該当しない
[責任著者・共著者の別] 共著者
[著者] [責任著者]Shinji Ueki [共著者]Yuki Nishimori,Tomohiro Kubota,Masakazu Sugiyama,Seiji Samukawa,Gen Hashiguchi [備考] ドライエッチングによるシリコン表面のダメージを評価する方法を開発した。シリコンで作製したカンチレバー表面にドライエッチングによるダメージを与え、そのカンチレバーをレーザー熱励起法により共振させQ値を測定した。Qは損失を反映しているが、ダメージだけの関数ではないので、共振周波数で割り算した数値によって
[43]. 半導体への電界の浸みこみを考慮した櫛歯アクチュエータの特性解析
電気学会論文誌E(センサ・マイクロマシン部門誌) 130/8 388-393 （2010年） [査読] 有 [国際共著論文] 該当しない
[責任著者・共著者の別] 共著者
[著者] [責任著者]植木 真治 [共著者]西森 勇貴,今本 浩史,久保田 智広,杉山 正和,寒川 誠二,橋口 原 [備考] シリコンで作製される櫛歯型アクチュエータの解析は、半導体を利用しているにもかかわらず導体と考えて解析されてきた。本論文は、電界の半導体への染み込みを考慮してラグラジアンを導出し、そこから運動方程式を得ることで半導体としての特性を考慮した櫛歯型アクチュエータの等価回路を導出した。これにより不純物濃度の
[44]. Trapping of hyaluronic acid molecule by metal-coated silicon nanotweezers
Journal of Microlithography, Microfabrication, and Microsystems 9/ 031004- （2010年） [査読] 有 [国際共著論文] 該当しない
[責任著者・共著者の別] 共著者
[著者] [責任著者]Takashi Mineta [共著者]Hiroko Takeuchi,Eiji Makino,Gen Hashiguchi [備考] MEMSで作製した微小ピンセットを用いて、ヒアルロン酸分子を溶液中から分取ことに成功した。高周波電圧をピンセット間に印加すると、束状のヒアルロン酸分子がピンセット間に伸張固定される。周波数を高くしていくと、ヒアルロン酸分子束が細くなる傾向があり、3kHzの周波数において直径約30nmの分子が捕捉でき
[45]. Multi-DOF equivalent circuit for a comb-drive Actuator
JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 1-REGULAR PAPERS SHORT NOTES & REV 48/12 124504(7pp)- （2009年） [査読] 有 [国際共著論文] 該当しない
[責任著者・共著者の別] 共著者
[著者] [責任著者]Yuuki Nichimori [共著者]Hideta Ooiso,Shunsuke Mochizuki,Nobuyo Fujiwara,Tomoyoshi Tsuchiya,Gen Hashiguchi [備考] 機械系として多自由度を扱う櫛歯型静電アクチュエータの等価回路を導出した。多自由度を仮定したラグラジアンを導入し、運動方程式を線形化することで電気・機械
相互作用を考慮した等価回路を導いた。各自由度間は従属電源表現される。等価回路モデルを確認するため、実際に多自由度に変位する櫛歯型アクチュエータを
[46]. Small single-crystal silicon cantilevers formed by crystal facets for atomic force microscopy
REVIEW OF SCIENTIFIC INSTRUMENTS 80/9 095104(5pp)- （2009年） [査読] 有 [国際共著論文] 該当しない
[責任著者・共著者の別] 共著者
[著者] [責任著者]Kazuhisa Nakagawa [共著者]Gen Hashiguchi,Hideki Kawakatsu [備考] 非常に高い共振周波数を有する原子間力顕微鏡用カンチレバーを、水酸化カリウム水溶液を用いたシリコンの異方性エッチングにより、バッチプロセスで作製した。レーザーによる熱励起で共振周波数を測定したところ、8.42MHzの共振周波数を得た。
本人担当部分：
水酸化カリウムと局所酸化法を用いたカンチレバー
[47]. Nanotweezers with Proximity Sensing and Gripping Force Control System
JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS, part.3(special issue) 48/8 08JB21- （2009年） [査読] 有 [国際共著論文] 該当しない
[責任著者・共著者の別] 共著者
[著者] [責任著者]Takeshi Umemoto [共著者]Kenjiro Ayano,Masato Suzuki,Masatoshi Yasutake,Takashi Konno,Gen Hashiguchi [備考] 櫛歯アクチュエータを用いた接触センサー機能付ナノグリッパーを開発した。接触センサーとなっている櫛歯アクチュエータは共振振動しており、その共振周波数の変化により対向物質への接近を検知する。その検知の分解能はおおよそ10nmである。接触センサー及びマニピュレーション機能はFIB装置の中で観測し、その機能
[48]. Development and experimental validation of automatic conversion procedure from mechanical to electrical connection for MEMS equivalent circuit
IEEJ Transactions on Electrical and Electronic Engineering 4/3 352-357 （2009年） [査読] 有 [国際共著論文] 該当しない
[責任著者・共著者の別] 共著者
[著者] [責任著者]Nobuyo Fujiwara [共著者]Kazuo Asami,Yasuroh Iriye,Tomoyuki Koike,Toshiyuki Tsuchiya,Gen Hashiguchi [備考] MEMSの電気機械等価回路を自動的に作成するため、グラフ理論による新しい構成法を開発した。機械構造を小さなユニット毎に分解し、それらの接続をグラフ理論を用いて表し、等価回路を自動的に作成している。等価回路はネットリストの形で出力されるようにした。実際にMEMSを作製して開発した手法によるシミュレーシ
[49]. AFM picking-up manipulation of the metaphase chromosome fragment by using the tweezers-type probe
ULTRAMICROSCOPY 108/9 847-854 （2008年） [査読] 有 [国際共著論文] 該当しない
[責任著者・共著者の別] 共著者
[著者] [責任著者]Yamanaka Keiichiro [共著者]Saito Masato,Shichiri Motoharu,Sugiyama Sigeru,Takamura Yuzuru,Hashiguchi Gen,Tamiya Eiichi [備考] 染色体中の遺伝子マップの作成を目的として、染色体を小さく切断する原子間力顕微鏡用プローブを開発した。染色体をきれいに切断するために、プローブはナイフの形状をしており、その先端部を使って原子間力顕微鏡像も取得できるようにした。このツールにより、染色体の所望の部分を切断し、遺伝子解析ができるようになった
[50]. Silicon Nanotweezers With Subnanometer Resolution for the Micromanipulation of Biomolecules
Journal of Microelectromechanical Systems 17/3 623-631 （2008年） [査読] 有 [国際共著論文] 該当する
[責任著者・共著者の別] 共著者
[著者] [責任著者]C. Yamahata [共著者]D. Collard,B. Legr,T. Takekawa,M. Kumemura,G. Hashiguchi,H. Fujita [備考] サブナノメーターの変位分解能を有するＭＥＭＳピンセットを開発した。変位の検出はピンセットアームに取り付けられたキャパシタンス容量の変化を測定することで行われる。分解能の測定により0.2nmの分解能で測定可能であることが分かった。またＤＮＡ分子をピンッセット間に伸張固定し共振周波数の行ったところ、Ｑ値
[51]. Application of vertical comb-drive MEMS mirror for a phase shift device
電気学会論文誌E 128/6 261-265 （2008年） [査読] 有 [国際共著論文] 該当しない
[責任著者・共著者の別] 共著者
[著者] [責任著者]Daisuke Inoue [共著者]Fumikazu Oohira,Kazuya Yamamoto,Masahiro Kondo,Takaki,Harada,Ichirou Ichimaru,Gen Hashiguchi,Maho Hosogi [備考] 縦型に駆動する櫛歯型アクチュエータを用いたＭＥＭＳミラーを開発した。縦型櫛歯アクチュエータの電極は、一方が活性層に作製され、もう一方がハンドル層に形成される。２つの電極の相対的な位置をセルフアラインするために、金属薄膜とレジストを用いた2段マスク法を採用した。試作したＭＥＭＳミラーは上下方向に23ミ
[52]. Humidity dependence of charge transport through DNA revealed by silicon-based nanotweezers manipulation
BIOCHEMICAL JOURNAL 94/1 63-70 （2008年） [査読] 有 [国際共著論文] 該当する
[責任著者・共著者の別] 共著者
[著者] [責任著者]C.Yamahata [共著者]D.Collard,T.Takekawa,M.Kumemura,G.Hashiguchi,H.Fujita [備考] DNA分子の電気伝導特性をMEMSピンセットを用いて測定した。DNA分子はMEMSピンセット間に伸張固定されている。電気測定はピンセット間の電圧・電流特性として測定した。電気伝導特性は特に湿度の関数となっており、湿度が高いほど電気伝導特性が高くなることが分かった。
本人担当部分：DNA分子を伸張固
[53]. Fabrication and Characteristics of Sputter-Induced Carbon Nanoneedle Filed Emitters and Si Electron-Transparent Films for Application to Electron –Beam-Pumped Light Sources
Jpn. J. Appl. Phys 45/40 L1067-L1070 （2007年） [査読] 有 [国際共著論文] 該当しない
[責任著者・共著者の別] 共著者
[著者] [責任著者]Kazufumi Shiozawa,Yoichiro Neo [共著者]Morihiro Okada,Masafumi Takahashi,Gen Hashiguchi,Tomoyuki Ikedo,Hidenori Mimura [備考] カーボンナノニードルを用いた電界電子放出銃と大気中へ電子を取り出すためのシリコン透過膜を取り付けた光源励起用デバイスを作製した。加速電圧27kVにおいて60%の電子が透過してくることを確認した。また337nmのN2の光励起に起因するスペクトルを観察した。(速報版）
本人担当部分：電子透過膜の作製を
[54]. Single DNA molecule isolation and trapping in a microfluidic device
ChemPhysChem 8/12 1875-1880 （2007年） [査読] 有 [国際共著論文] 該当する
[責任著者・共著者の別] 共著者
[著者] [責任著者]Momoko Kumemura [共著者]Gen Hashiguchi [備考] 単一ＤＮＡ分子をマイクロ流路により分離し、さらに電極間にトラップすることに成功した。流路内に配置された電極により誘導泳動の原理でＤＮＡ分子をトラップするための電極間まで運搬したのち、交流電圧により伸張固定した。これにより単一ＤＮＡ分子の解析が可能となった。
本人担当部分：マイクロ流路形成プロセスと
[55]. Electron-beam-pumped light sources using graphite nanoneedle field emitters and Si electron-transparent films
IEEJ Transactions on Electrical and Electronic Engineering 2/3 272- 277 （2007年） [査読] 有 [国際共著論文] 該当しない
[責任著者・共著者の別] 共著者
[著者] [責任著者]Hidenori Mimura [共著者]Kazufumi Shiozawa,Yoichiro Neo,Morihiro Okada,Masafumi Takahasi,GenHashiguchi [備考] 電子ビームでポンピングする光源用の電子銃と電子を透過させる真空膜を開発した。電子銃はスパッターにより形成したカーボン電子銃で透過膜は1.5ミクロンのシリコンフィルムからなる。27kVの加速電圧において約60%の電子が大気中に取り出せることが分かった。また窒素ガスを励起して光源としての特性を評価したと
[56]. In situ visualization of degradation of silicon field emitter tips
IEEJ Transactions on Electrical and Electronic Engineering 2/3 284-288 （2007年） [査読] 有 [国際共著論文] 該当しない
[責任著者・共著者の別] 共著者
[著者] [責任著者]Naoyuki Nozawa [共著者]Kuniyuki Kakushima,Gen Hashiguchi,Hiroyuki Fujita [備考] 透過型電子顕微鏡内において、シリコン電子銃の電子放出特性と電子銃先端部の形状変化を同時に観察した。電子放出電流が徐々に減少するにつれて、シリコン電子銃先端の形状が変化していく様子が明確に確認できた。詳細な観察の結果、電子放出特性の減少と先端部の形状劣化に明瞭な関係があることが分かった。
本人担当部
[57]. Pressure sensing by electrical admittance measurement of comb-drive actuator
IEEJ Transactions on Electrical and Electronic Engineering 2/3 335-339 （2007年） [査読] 有 [国際共著論文] 該当しない
[責任著者・共著者の別] 共著者
[著者] [責任著者]Kenjiro Ayano [共著者]Gen Hashiguchi [備考] 櫛歯アクチュエータを用いた圧力センサを考案した。SOI基板を用いて櫛歯型アクチュエータを作成し、圧力とその共振周波数の変化を測定した。大気付近の共振周波数の変化は０．34Hz/MPaであったが、真空雰囲気では0.1Hz/MPaの感度であった。これらの結果により、シリコン振動子が圧力センサとして利用で
[58]. Multi-Probe SPM using Interference Patterns for a Parallel Nano Imaging
IEEJ Trans. S.M. 127/3 182-186 （2007年） [査読] 有 [国際共著論文] 該当しない
[責任著者・共著者の別] 共著者
[著者] [責任著者]Hirotaka Koyama [共著者]Fumikazu Oohira,Maho Hosogi,Gen Hashiguchi [備考] 多数のマイクロプローブからなるマルチプローブ顕微鏡システムにおいて、ガラス基板上にマルチプローブを形成し、そのプローブとガラスの間の光干渉像を用いて多数のプローブの変位を同時に検出する新しいマルチプローブシステムを開発した。プローブの変位に応じて干渉縞がプローブの長手方向に沿って変位することを検出す
[59]. The displacement measurement device using a comb-drive actuator
IEEJ Trans. S.M 127/3 148-152 （2007年） [査読] 有 [国際共著論文] 該当しない
[責任著者・共著者の別] 共著者
[著者] [責任著者]Katsuyori Suzuki [共著者]Kenjiro Ayano,Gen Hashiguchi [備考] 櫛歯アクチュエータを用いた変位検出デバイスを開発した。櫛歯アクチュエータの可動部分に長い梁形状のプローブを形成した。櫛歯アクチュエータは共振駆動されており、計測する対象に接近すると原子間力顕微鏡と同じ原理で共振周波数が変化する。この共振周波数が一定になるように櫛歯アクチュエータの位置を制御し、その制
[60]. Multiprobe SPM System Using Optical Interference Patterns
IEEE Journal of Selected Topics in Quantum Electronics 13/2 415-422 （2007年） [査読] 有 [国際共著論文] 該当しない
[責任著者・共著者の別] 共著者
[著者] [責任著者]Hirotaka Koyama [共著者]Fumikazu Oohira,Maho Hosogi,Gen Hashiguchi,Toshihiro Hamada [備考] 50000個のシリコン窒化膜カンチレバーからなる光干渉型マルチプローブシステムと開発した。カンチレバーはガラス基板上に形成され、それらのギャップ間で形成される光干渉パターンからプローブの変位を計測する。カンチレバー作製のさい、ガラス基板へのスティクションが問題となるが、超臨界ドライ装置を利用すること
[61]. Detection of Label-Free T4-DNA Molecules Using SPR Technique
IEICE TRANS. ELECTRON E90-C/1 110-115 （2007年） [査読] 有 [国際共著論文] 該当しない
[責任著者・共著者の別] 共著者
[著者] [責任著者]Hiroki Okuno [共著者]Ayami Nichioka,Maho Hosogi,Fumikazu Oohira,Gen Hashiguchi [備考] 蛍光マーカー等でラベリングされていないＤＮＡ分子を検出するために、薄い金薄膜を用いた表面プラズモン共鳴法を利用した。ＤＮＡ分子の濃度とプラズモン共鳴角度との間に明瞭な依存性を見出した。さらに単一あるいは極めて少数のＤＮＡ分子検出のため、金薄膜の面積を小さくし、それ以外の部分からの反射を小さくする工夫
[62]. A new design of knife-edged AFM probe for chromosome precision manipulating
Sensors and Actuators A 130-131/(num) 616-624 （2006年） [査読] 有 [国際共著論文] 該当しない
[責任著者・共著者の別] 共著者
[著者] [責任著者]Masato Saito [共著者]Kazuhisa Nakagawa,Keiichiro Yamanaka,Yuzuru Takamura,Gen Hashiguchi,Eiichi Tamiya [備考] 染色体の部位を選択的に切断し、回収するためのデバイスを開発した。原子間力顕微鏡用のプローブにおいて、水酸化カリウム水溶液により形状をナイフエッジに加工してナノ物質を観察しながら物理的に切断できるようにした。実際に原子間力顕微鏡で染色体を観察し、特定部分だけを切断して取り出すことに成功した。
本人担
[63]. Electromechanical Analysis of a micromachined comb-drive actuator by admittance measurement
IEEJ Trans. S.M 126/7 281-285 （2006年） [査読] 有 [国際共著論文] 該当しない
[責任著者・共著者の別] 責任著者
[著者] [責任著者]橋口 原 [共著者]Kenjiro Ayano,Katsuyori Suzuki,Gen Hashiguchi [備考] ラグラジアンを用いた電気機械練成モデリング法について提案した。櫛歯型アクチュエータに対してラグラジアンを導出し、そこから運動方程式を導いた。さらにそれを線形化し、周波数応答に関する線形方程式を得た。実際に櫛歯型アクチュエータを作成し、理論と比較したところよい一致が得られ、ラグラジアンによるモデリング
[64]. 化学吸着単分子膜を利用したマイクロレンズアレイ製作法
IEEJ Trans. S.M 127/2 82-88 （2006年） [査読] 有 [国際共著論文] 該当しない
[責任著者・共著者の別] 共著者
[著者] [責任著者]岡田和志,大平文和 [共著者]細木真保,橋口原,三原豊,小川一文,塩飽和也 [備考] 単分子膜をシリコン基板上に塗布した後に、アルミ薄膜を用いて円状にパターニングする。さらにその部分の単分子膜をアッシングにより除去したあとにアルミ膜も除去して単分子膜をパターニングしておく。次に紫外線感光性溶液を塗布すると、単分子膜上には付着せず、円パターン沿ってお碗型に盛り上がるように溶液が配置する
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