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静岡大学教員データベース - 教員個別情報 : 梅本 宏信 (Umemoto Hironobu)

学会発表・研究発表

【学会発表・研究発表】
[1]. ラジカルの発生とその反応
第14回Cat-CVD研究会 (2017年7月) 招待講演
[発表者]梅本宏信
[備考] 開催場所(高松市)
[2]. 水素ラジカルを用いたレジスト除去における酸素添加効果
第14回Cat-CVD研究会 (2017年7月) 招待講演以外
[発表者]滝 智洋,山本 雅史,長岡 史郎,梅本 宏信,大平 圭介,西山 聖,堀邊 英夫
[備考] 開催場所(高松市)
[3]. 水素ラジカルを用いたレジスト除去における除去速度の圧力依存性
第14回Cat-CVD研究会 (2017年7月) 招待講演以外
[発表者]城井 智弘,山本 雅史,長岡 史郎,梅本 宏信,大平 圭介,西山 聖,堀邊 英夫
[備考] 開催場所(高松市)
[4]. B-atom release from metal wires boronized by non-explosive boron compounds
82nd Annual Meeting of the Society of Chemical Engineers (2017年3月) 招待講演
[備考] 開催場所(Tokyo)
[5]. Hot Metal Wires as Sinks and Sources of B atoms
9th Hot-Wire Chemical Vapor Deposition Conference (2016年9月) 招待講演
[発表者]H. Umemoto,A. Miyata
[備考] Philadelphia, USA
[6]. Decomposition Processes of Polymers used for Photoresists by H Atoms Produced on Hot Wire Surfaces
9th Hot-Wire Chemical Vapor Deposition Conference (2016年9月) 招待講演以外
[発表者]H. Umemoto,T. Kato,M. Takiguchi,S. Takagi,H. Horibe
[備考] Philadelphia, USA
[7]. ボラザンによりホウ素化したタングステンワイヤからのホウ素原子放出
第13回Cat-CVD研究会 (2016年7月) 招待講演以外
[発表者]梅本宏信,梅本宏信,宮田篤
[備考] 開催場所(北見市)
[8]. レジストポリマーの水素原子による分解過程
第13回Cat-CVD研究会 (2016年7月) 招待講演以外
[発表者]梅本宏信,加藤輝斗,滝口正侑,高木誠司,堀邊英夫
[備考] 開催場所(北見市)
[9]. A clean source of B atoms without using explosive boron compounds
32nd Symposium on Chemical Kinetics and Dynamics (2016年6月) 招待講演以外
[発表者]Atsushi Miyata , Hironobu Umemoto
[備考] 開催場所(さいたま市)
[10]. 水素ラジカルを用いたレジスト除去における酸素添加による除去均一性の向上
第33回フォトポリマーコンファレンス (2016年6月) 招待講演以外
[発表者]山本雅史,前島和真,梅本宏信,大平圭介,鹿間共一,西山聖,堀邊英夫
[備考] 開催場所(千葉市)
[11]. 水素ラジカルによるレジスト除去における除去速度の酸素添加量依存性
第63回応用物理学会春季学術講演会 (2016年3月) 招待講演以外
[発表者]山本雅史,梅本宏信,大平圭介,鹿間共一,西山聖,堀邊英夫
[備考] 東京都
[12]. 加熱タングステン触媒体上でのホウ素化合物からのB原子生成過程
第76回応用物理学会秋季学術講演会 (2015年9月) 招待講演以外
[発表者]梅本宏信,宮田篤,野島拓翔
[備考] 名古屋市
[13]. 酸素を微量添加した水素ラジカルを用いたレジストの除去
第76回応用物理学会秋季学術講演会 (2015年9月) 招待講演以外
[発表者]山本雅史,梅本宏信,大平圭介,鹿間共一,西山聖,堀邊英夫
[備考] 名古屋市
[14]. 加熱タングステンワイヤ表面でのホウ素化合物分解過程
第12回Cat-CVD研究会 (2015年7月) 招待講演以外
[発表者]梅本宏信,梅本宏信,宮田篤,野島招翔
[備考] 開催場所(名古屋市)
[15]. 低圧下で生成した原子状水素を用いたレジストの除去
第12回Cat-CVD研究会 (2015年7月) 招待講演以外
[発表者]山本雅史,梅本宏信,大平圭介,鹿間共一,長岡史郎,西山聖,堀邊英夫
[備考] 開催場所(名古屋市)
[16]. Catalytic decomposition processes of borazane and borazine on heated W wire surfaces
31st Symposium on Chemical Kinetics and Dynamics (2015年6月) 招待講演以外
[発表者]Atsushi Miyata , Hironobu Umemoto
[備考] 開催場所(札幌市)
[17]. アンモニアの加熱金属触媒による分解過程と後続気相反応過程
化学工学会反応工学部会 CVD反応分科会主催第23回シンポジウム (2015年5月) 招待講演
[発表者]梅本 宏信
[備考] 開催場所(東京都)
[18]. Decomposition processes of diborane and borazane (ammonia-borane complex) on hot W wire surfaces
8th Hot-Wire Chemical Vapor Deposition Conference (2014年10月) 招待講演以外
[発表者]H. Umemoto,T. Kanemitsu,A. Miyata
[備考] Braunschweig, Germany
[19]. 加熱タングステンワイヤ上でのジボランからのB原子およびBHラジカルの発生機構
第75回応用物理学会秋季学術講演会 (2014年9月) 招待講演以外
[発表者]梅本宏信,金光泰二郎
[備考] 札幌市
[20]. 加熱タングステンワイヤで活性化されたジボラン/水素混合物からのB原子およびBHラジカルの生成過程
第11回Cat-CVD研究会 (2014年7月) 招待講演以外
[発表者]梅本 宏信,金光泰二郎,田中晃人
[備考] 開催場所(仙台市)
[21]. アンモニア-ボラン錯体の加熱タングステンワイヤ上での触媒分解
第11回Cat-CVD研究会 (2014年7月) 招待講演以外
[発表者]梅本 宏信,宮田篤
[備考] 開催場所(仙台市)
[22]. Production of B atoms from B2H6/He/H2 mixtures activated on heated W wires
30th Symposium on Chemical Kinetics and Dynamics (2014年6月) 招待講演以外
[発表者]Taijiro Kanemitsu,Akihito Tanaka,Hironobu Umemoto
[備考] 開催場所(姫路市)
[23]. ジボランの加熱タングステンワイヤ上での分解過程
春季第61回応用物理学関係連合講演会 (2014年3月) 招待講演以外
[発表者]梅本宏信,金光泰二郎,田中晃人
[備考] 開催場所(相模原市)
[24]. ホスフィンおよびジボランの加熱タングステンワイヤ上での分解過程
第44回 中部化学関係学協会支部連合秋季大会 (2013年11月) 招待講演以外
[発表者]金光泰二郎,田中晃人,梅本宏信
[備考] 開催場所(浜松市)
[25]. Catalytic Decomposition of Phosphorus Compounds to Produce Phosphorus Atoms
2013 Japan Society of Applied Physics (JSAP) and Materials Research Society (MRS) Joint Symposia (2013年9月) 招待講演
[発表者]H. Umemoto,T. Kanemitsu,Y. Kuroda,S. Osono
[備考] Kyotanabe, Japan/ Japan Society of Applied Physics (JSAP) and Materials Research Society (MRS)
[26]. Wire thickness dependence in the catalytic decomposition of H2
2013 Japan Society of Applied Physics (JSAP) and Materials Research Society (MRS) Joint Symposia (2013年9月) 招待講演以外
[発表者]H. Umemoto
[備考] Kyotanabe, Japan/ Japan Society of Applied Physics (JSAP) and Materials Research Society (MRS)
[27]. 水素の触媒分解におけるワイヤー太さ依存
第10回Cat-CVD研究会 (2013年7月) 招待講演以外
[発表者]梅本 宏信
[備考] 開催場所(岐阜市)
[28]. 気相化学反応の理論的解析
第10回Cat-CVD研究会 (2013年7月) 招待講演
[発表者]梅本宏信
[備考] 開催場所(岐阜市)
[29]. Production of atomic phosphorus from molecular phosphorus on heated metal wire surfaces
29th Symposium on Chemical Kinetics and Dynamics (2013年6月) 招待講演以外
[発表者]Taijiro Kanemitsu,Yuki Kuroda,Hironobu Umemoto
[備考] 開催場所(仙台市)
[30]. 触媒反応で生成した水分子とジメチル亜鉛からのZnO薄膜形成機構
春季第60回応用物理学関係連合講演会 (2013年3月) 招待講演以外
[発表者]梅本 宏信,石川卓末,西原裕心,ほか
[備考] 開催場所(厚木市)
[31]. Cat-CVD など新手法による太陽電池高効率化
CREST公開シンポジウム (2013年1月) 招待講演以外
[発表者]松村英樹,大塚信雄,堀田 将,梅本宏信,ほか
[備考] 開催場所(豊田)
[32]. Wire-material dependence in the catalytic decomposition of PH3
7th international conference on hot-wire chemical vapor deposition (2012年10月) 招待講演以外
[発表者]H. Umemoto
[備考] 開催場所(Osaka)
[33]. Gas-phase Diagnoses in Cat-CVD (HW-CVD) Processes
7th international conference on hot-wire chemical vapor deposition (2012年10月) 招待講演
[発表者]H. Umemoto
[備考] 開催地(Osaka,Japan)
[34]. ホスフィンの加熱ワイヤ上での分解過程における材質依存
2012年秋季第73回応用物理学会学術講演会 (2012年9月) 招待講演以外
[発表者]梅本宏信
[備考] 開催場所(松山)
[35]. H2-O2触媒反応生成高エネルギーH2Oを用いて堆積したZnO/a-Al2O3の電気伝導特性の解析
2012年秋季第73回応用物理学会学術講演会 (2012年9月) 招待講演以外
[発表者]永冨瑛智,山口直也,清水英彦,梅本宏信,加藤孝弘,安井寛治
[備考] 開催場所(松山)
[36]. リン分子の触媒分解によるリン原子の生成
第9回Cat-CVD研究会 (2012年6月) 招待講演以外
[発表者]梅本宏信,黒田雄貴,金光泰二郎
[備考] 開催場所(船橋市)
[37]. 触媒反応生成高エネルギーH2Oを用いて成長したZnO/a-Al2O3膜の電気伝導特性
2012年度材料・デバイスサマーミーティング (2012年6月) 招待講演以外
[発表者]永冨瑛智,山口直也,加藤孝弘,梅本宏信,安井寛治
[備考] 開催場所(東京都)
[38]. 触媒反応生成高エネルギーH2Oを用いて成長したZnO/a-Al2O3膜の電気伝導特性
2012年度材料・デバイスサマーミーティング (2012年6月) 招待講演以外
[発表者]永冨瑛智,山口直也,加藤孝弘,梅本宏信,安井寛治
[備考] 開催場所(東京)
[39]. Catalytic decomposition of PH3 on heated tungsten surfaces
28th Symposium on Chemical Kinetics and Dynamics (2012年6月) 招待講演以外
[発表者]Yushin Nishihara,Takuma Ishikawa,Hironobu Umemoto
[備考] 開催場所(春日市)
[40]. ホスフィンのホットワイヤ上での分解過程
第42回中部化学関係学協会支部連合秋季大会 (2011年11月) 招待講演以外
[発表者]西原裕心,石川卓末,山本慎吾,梅本宏信
[備考] 開催場所(長野)
[41]. 水溶性P(V)ポルフィリンS1状態からのヒト血清アルブミンの光損傷
2011年光化学討論会 (2011年9月) 招待講演以外
[発表者]平川和貴,山口泰幹,梅本宏信,岡崎茂俊,西村賢宣,新井達郎,瀬川浩司
[備考] 開催場所(宮崎)
[42]. リンと触媒分解により発生させたH原子からのPH3生成機構
2011年秋季第72回応用物理学会学術講演会 (2011年8月) 招待講演以外
[発表者]梅本宏信,西原裕心,石川卓末
[備考] 開催場所(山形)
[43]. Production mechanism of ZnO thin films from activated water and dimethylzinc molecules
27th Symposium on Chemical Kinetics and Dynamics (2011年6月) 招待講演以外
[発表者]Takuma Ishikawa,Yushin Nishihara,Hironobu Umemoto,Kanji Yasui,Hiroshi Nishiyama,Yasunobu Inoue,Mitsuru Ushijima
[備考] 開催場所(東京)
[44]. Production of PH3 from red phosphorus and atomic hydrogen
27th Symposium on Chemical Kinetics and Dynamics (2011年6月) 招待講演以外
[発表者]Yushin Nishihara,Takuma Ishikawa,Hironobu Umemoto
[備考] 開催場所(東京)
[45]. 触媒反応で生成された水蒸気分子とジメチル亜鉛からの酸化亜鉛薄膜形成機構
第8回Cat-CVD研究会 (2011年6月) 招待講演以外
[発表者]石川卓末,西原裕心,梅本宏信,安井寛治,西山洋,井上泰宣,牛島満
[備考] 開催場所(金沢)
[46]. 加熱触媒体上で発生させた赤リンと水素原子からのホスフィンの生成
第8回Cat-CVD研究会 (2011年6月) 招待講演以外
[発表者]西原裕心,石川卓末,梅本宏信
[備考] 開催場所(金沢)
[47]. H2-O2触媒反応生成高エネルギーH2Oを用いて堆積したZnOエピタキシャル膜の電気伝導特性
春季第59回応用物理学関係連合講演会 (2011年3月) 招待講演以外
[発表者]里本宗一,永冨瑛智,梅本宏信,加藤孝弘,安井寛治
[備考] 開催場所(東京)
[48]. ホスフィンの加熱タングステン上での触媒分解過程
春季第59回応用物理学関係連合講演会 (2011年3月) 招待講演以外
[発表者]梅本宏信,西原裕心,石川卓末,山本慎吾
[備考] 開催場所(東京)
[49]. Oxygen-independent Photosensitizer P(V)porphyrin
The 7th Korea-Japan Symposium on Frontier Photoscience (2010年10月) 招待講演以外
[発表者]K. Hirakawa et al.
[備考] 開催場所(Daegu, Korea)
[50]. Catalytic decomposition of NH3 on heated Ru and W surfaces
6th International Conference on Hot Wire CVD Processes (2010年9月) 招待講演以外
[発表者]H. Umemoto,Y. Kashiwagi,K. Ohdaira,H. Kobayashi,,K. Yasui
[備考] 開催場所(Palaiseau)
[51]. P(V)ポルフィリンによる酸素に依存しないたんぱく質光損傷
2010年光化学討論会 (2010年9月) 招待講演以外
[発表者]平川和貴ほか
[備考] 開催場所(千葉)
[52]. 光電気化学に基づくがん光治療の基礎研究
第21回東海地区光電気化学研究会 (2010年7月) 招待講演以外
[発表者]平川和貴ほか
[備考] 開催場所(浜松)
[53]. Ru触媒体上でのアンモニアの分解によるH原子およびNHラジカル生成機構
第7回Cat-CVD研究会 (2010年6月) 招待講演以外
[発表者]梅本宏信,柏木 雄大,大平 圭介,小林 弘幸,安井 寛治
[備考] 開催場所(浜松)
[54]. N2分子の触媒分解によるN原子の発生
第7回Cat-CVD研究会 (2010年6月) 招待講演以外
[発表者]梅本宏信
[備考] 開催場所(浜松)
[55]. Effect of Ru coating on the catalytic decomposition of NH3
26th Symposium on Chemical Kinetics and Dynamics (2010年6月) 招待講演以外
[発表者]H. Umemoto,K. Yasui
[備考] 開催場所(東広島)
[56]. RuおよびW触媒体上でのアンモニアの分解によるラジカル発生機構
春季第57回応用物理学関係連合講演会 (2010年3月) 招待講演以外
[発表者]梅本 宏信,柏木 雄大,大平 圭介,小林 弘幸,安井 寛治
[備考] 開催場所(平塚)
[57]. N2の加熱タングステン上での分解によるN原子生成機構
春季第58回応用物理学関係連合講演会 (2010年3月) 招待講演以外
[発表者]梅本宏信,船江剛
[備考] 開催場所(予稿にて発表)
[58]. 水溶性P(V)ポルフィリンによるタンパク質の光損傷
日本化学会第91春季年会 (2010年3月) 招待講演以外
[発表者]平川和貴,梅本宏信,西村賢宣,新井達郎,岡崎茂俊,瀬川浩司
[備考] 開催場所(予稿にて発表)
[59]. 水蒸気分子触媒分解過程における非アレニウス温度依存
第6回Cat-CVD研究会 (2009年6月) 招待講演以外
[発表者]梅本宏信,草薙弘樹
[備考] 開催場所(金沢)
[60]. Non-Arrhenius temperature dependence of H2O decomposition on heated Ir catalysis
25th Symposium on Chemical Kinetics and Dynamics (2009年6月) 招待講演以外
[発表者]H. Umemoto,H. Kusanagi
[備考] 開催場所(さいたま)
[61]. Generation of hydrogen atom in multiphoton dissociation of propane at 243 nm
25th Symposium on Chemical Kinetics and Dynamics (2009年6月) 招待講演以外
[発表者]M. Izumi,H. Kohguchi,H. Umemoto,K. Yamasaki
[備考] 開催場所(さいたま)
[62]. 原子状水素を用いたレジスト除去と基板への影響
第6回Cat-CVD研究会 (2009年6月) 招待講演以外
[発表者]山本雅史,丸岡岳志,梅本宏信,堀邊英夫,高尾和久,加勢正隆
[備考] 開催場所(金沢)
[63]. 化学気相堆積過程における並進、回転、振動励起種の発生とその緩和過程
会議名(第6回Cat-CVD研究会) (2009年6月) 招待講演
[発表者]梅本 宏信
[備考] 開催地(金沢)
[64]. Novel plasmaless photoresist removal method in gas phase at room temperature
215th Electrochemical Society Meeting (2009年5月) 招待講演以外
[発表者]T. Miura,M. Kekura,H. Horibe,M. Yamamoto,,H. Umemoto
[備考] 開催場所(San Francisco)
[65]. 加熱イリジウム触媒体上における水蒸気分子分解過程
春季第56回応用物理学関係連合講演会 (2009年3月) 招待講演以外
[発表者]梅本宏信,草薙弘樹
[備考] 開催場所(つくば市)
[66]. Resist removal and evaluation of Si-wafer by atomic hydrogen
30th International Symposium on Dry Process (2008年11月) 招待講演以外
[発表者]M. Yamamoto,H. Horibe,H. Umemoto,E. Kusano,,S. Tagawa
[備考] 開催場所(Tokyo)
[67]. Detection of radical species produced by catalytic decomposition of H2, O2 and their mixtures on heated Ir surfaces
5th International Conference on Hot-Wire CVD (Cat-CVD) Process (2008年8月) 招待講演以外
[発表者]H. Umemoto,H. Kusanagi,K. Nishimura,,M. Ushijima
[備考] 開催場所(Cambridge MA)
[68]. 加熱金属触媒体による酸化性および還元性ラジカルの生成
第24回化学反応討論会 (2008年6月) 招待講演以外
[発表者]梅本宏信,草薙弘樹
[備考] 開催場所(札幌)
[69]. 加熱イリジウム触媒体上における酸化性分子分解過程
第5回Cat-CVD研究会 (2008年6月) 招待講演以外
[発表者]梅本宏信,草薙弘樹,西村和晃,牛島満
[備考] 開催場所(相模原)
[70]. 化学気相堆積過程における気相、表面反応
第5回Cat-CVD研究会 (2008年6月) 招待講演以外
[発表者]梅本宏信
[備考] 開催場所(相模原市)
[71]. 化学気相堆積過程における気相、表面反応
会議名(第5回Cat-CVD研究会) (2008年6月) 招待講演
[発表者]梅本 宏信
[備考] 開催地(相模原市)
[72]. 加熱イリジウム触媒体上における水素分子、酸素分子の分解過程
春季第55回応用物理学関係連合講演会 (2008年3月) 招待講演以外
[発表者]梅本宏信,草薙弘樹,西村和晃,牛島満
[備考] 開催場所(船橋)
[73]. 原子状水素原子の濃度とレジスト除去速度との関係
春季第55回応用物理学関係連合講演会 (2008年3月) 招待講演以外
[発表者]山本雅史,梅本宏信,堀邊英夫,三浦敏特,田川精一
[備考] 開催場所(船橋市)
[74]. 酸素/水素混合系触媒分解過程における酸化性および還元性ラジカルの検出
秋季第68回応用物理学会学術講演会 (2007年9月) 招待講演以外
[発表者]梅本宏信,森寺真司
[備考] 開催場所(札幌)
[75]. 最低励起三重項状態の窒素分子とC2H2(C2D2)との反応におけるH(D)原子の収率
第23回化学反応討論会 (2007年6月) 招待講演以外
[発表者]梅本宏信
[備考] 開催場所(神戸)
[76]. 酸素/水素混合系触媒分解過程における水素原子の検出
第4回Cat-CVD研究会 (2007年6月) 招待講演以外
[発表者]梅本宏信
[備考] 開催場所(北九州)
[77]. 水素原子の輸送とリモート触媒化学気相堆積法
春季第54回応用物理学関係連合講演会(相模原) (2007年3月) 招待講演以外
[発表者]梅本宏信,瀬戸口将太,植村仁,松村英樹
[78]. Catalytic CVD processes of oxidizing species and the prevention of oxidization of heated tungsten filaments by H2
4th International Conference on Hot-Wire CVD (Cat-CVD) Process (2006年10月) 招待講演以外
[発表者]H. Umemoto
[79]. Future prospect of remote Cat-CVD on the basis of the production, transportation, and detection of H atoms
4th International Conference on Hot-Wire CVD (Cat-CVD) Process (2006年10月) 招待講演
[発表者]H. Umemoto
[備考] 開催地(Takayama,Japan)
[80]. Cat-CVD SiN Passivation Films for OLEDs and Packaging
4th International Conference on Hot-Wire CVD (Cat-CVD) Process (2006年10月) 招待講演以外
[発表者]A. Heya,T. Minamikawa,T. Niki,S. Minami,A. Masuda,H. Umemoto,N. Matsuo,,H. Matsumura
[備考] 開催場所(Takayama)
[81]. Cat-CVD法の基礎と半導体デバイスへの応用
第25回電子材料シンポジウム (2006年7月) 招待講演以外
[82]. Xe(6s[3/2]1)と炭化水素(炭化重水素)から生成するH(D)原子の収率
第22回化学反応討論会 (2006年6月) 招待講演以外
[83]. 気相過程における微量活性種検出の原理と実際
第3回Cat-CVD研究会 (2006年6月) 招待講演以外
[84]. ロールツーロール式Cat-CVD装置によるプラスチック上へのSiNx膜の連続形成
第3回Cat-CVD研究会 (2006年6月) 招待講演以外
[85]. Cat-CVD過程における酸化性ガスの利用
第3回Cat-CVD研究会 (2006年6月) 招待講演以外
[86]. 気相過程における微量活性種検出の原理と実際
会議名(第3回Cat-CVD研究会) (2006年6月) 招待講演
[発表者]梅本 宏信
[備考] 開催地(長岡)
[87]. 酸化性ガスを用いた触媒CVD過程における質量分析
春季第53回応用物理学関係連合講演会 (2006年3月) 招待講演以外
[88]. 加熱金属フィラメント表面で活性化された水素分子の振動回転状態分布
春季第53回応用物理学関係連合講演会 (2006年3月) 招待講演以外
[89]. Cat-CVD法により有機シリコン化合物を用いて有機基板に堆積したSiNx薄膜のガスバリア特性
春季第53回応用物理学関係連合講演会 (2006年3月) 招待講演以外
[90]. 化学気相堆積過程における振動励起した水素分子の役割
平成17年度応用物理学会北陸・信越支部学術講演会 (2005年12月) 招待講演以外
[91]. 高温タングステン表面で活性化された水素分子の振動回転状態分布
平成17年度日本化学会近畿支部北陸地区講演会と研究発表会 (2005年11月) 招待講演以外
[92]. Rotational and Vibrational State distributions of H2 Activated on heated tungsten surfaces
JAIST International Symposium on Nano Technology 2005 (2005年9月) 招待講演以外
[93]. Cat-CVD法によりHMDSを用いて作製したSiN系薄膜の特性(2)
秋季第66回応用物理学会学術講演会( (2005年9月) 招待講演以外
[94]. 加熱触媒体により発生させた水素原子によるプラズマレスレジスト除去
第2回Cat-CVD研究会 (2005年6月) 招待講演以外
[95]. Cat-CVD法によるHMDSを用いて作製したSiN系薄膜の作製
第2回Cat-CVD研究会 (2005年6月) 招待講演以外
[96]. SiNx膜形成時の水素添加効果
第2回Cat-CVD研究会 (2005年6月) 招待講演以外
[97]. Cat-CVD技術の現状と課題
第2回Cat-CVD研究会 (2005年6月) 招待講演以外
[98]. HMDSの触媒分解過程の解析
第2回Cat-CVD研究会 (2005年6月) 招待講演以外
[99]. 有機シリコン化合物を用いた触媒CVD過程における質量分析
第21回化学反応討論会 (2005年6月) 招待講演以外
[100]. Cat-CVD過程における触媒毒作用の低減
第2回Cat-CVD研究会 (2005年6月) 招待講演以外
[101]. Cat-CVD法の基礎と応用 気相診断、膜特性からデバイス応用まで
先端放射線化学シンポジウム2005 (2005年6月) 招待講演以外
[102]. 金属チャンバー内壁処理によるH原子輸送の高効率化
春季第52回応用物理学関係連合講演会 (2005年3月) 招待講演以外
[103]. 有機シリコン化合物の触媒分解過程
春季第52回応用物理学関係連合講演会 (2005年3月) 招待講演以外
[104]. Cat-CVD法におけるSiNx膜作製時の触媒体へのバイアス電圧印加効果
春季第52回応用物理学関係連合講演会 (2005年3月) 招待講演以外
[105]. Cat-CVD法によりHMDSを用いて作製したSiN系薄膜の特性
春季第52回応用物理学関係連合講演会 (2005年3月) 招待講演以外
[106]. Cat-CVD法による有機EL素子用ガスバリア膜の形成
春季第52回応用物理学関係連合講演会 (2005年3月) 招待講演以外