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静岡大学教員データベース - 教員個別情報 : 奥谷 昌之 （OKUYA Masayuki）

科学研究費助成事業

【科学研究費助成事業】
[1]. 非平衡プラズマの液中閉じ込め効果を利用した製膜と色素増感太陽電池のモジュール化 （ 2020年4月 ～ 2023年3月 ） 基盤研究(C) 代表
[備考] 本研究の要素技術として、PET基板上に塗布した前駆体に大気圧誘電体バリア放電により誘導された非平衡平面プラズマを照射し、前駆体の局所部分のみを結晶化させるダイレクトパターニング製膜を報告している。本研究では、この技術を前駆体溶液中の微小空洞部への平面プラズマの閉じ込め効果を利用した製膜へと展開する。

[2]. 非平衡液中プラズマによる金属酸化物薄膜の形成と色素増感太陽電池のモジュール化 （ 2017年4月 ～ 2020年3月 ） 基盤研究(C) 代表
[備考] 本研究では、誘電体バリア放電（沿面放電）により誘導された二次元非平衡プラズマをさらに発展させ、放電電極と製膜基板間の溶媒に対し、バイアス印加により発生させる微小空間内に平面プラズマを閉じ込め、毛細管現象により供給される前駆体とプラズマとの反応を利用した新規ダイレクトパターニング製膜技術を確立させる。

[3]. コプラナー型平面プラズマによる酸化物薄膜のダイレクトパターニング （ 2010年4月 ～ 2013年3月 ） 基盤研究(C) 代表
[備考] 本研究では金属前駆体溶液を塗布した基板に対し、自作のコプラナー型電極から発生する平面プラズマを大気中で照射することにより、酸化物薄膜の低温・高速形成及びそのナノメーターオーダーのダイレクトパターニングを目的とする。

[4]. 実用的な高効率・擬固体化色素増感太陽電池モジュールの開発 （ 2009年4月 ～ 2011年3月 ） 基盤研究(C) 分担
[備考] 廉価な太陽電池として期待されている色素増感太陽電池の実用化を促進するために、高性能化を図るとともに、製造コストの削減を目指した。その結果、スプレー法という大気中での作業が可能な簡便な方法だけを用いた作製法を開発し、製造コストの大幅な削減の可能性を示した。また、電池性能を大きく損なうことのない固体に近

[5]. 沿面放電法による薄膜のダイレクトパターニング （ 2007年4月 ～ 2009年3月 ） 基盤研究(C) 代表
[備考] 沿面放電は装置構成が簡便で比較的短時間でのパターニングが期待される。この手法により局所的にプラズマエネルギーを照射することにより、室温程度の低温でのテンプレート形成が可能になる。

[6]. 無毒性元素を利用した紫外線薄膜センサーのスプレー熱分解法による開発 （ 2005年4月 ～ 2007年3月 ） 若手研究(B) 代表
[備考] 簡易的製膜法であるスプレー熱分解法の特徴を利用したUVセンサーの開発