[1]. Photoresist Removal Using H Radicals Generated by Iridium Hot-Wire Catalyst
Int. J. Polym. Sci. 2017/ 2983042/1-2983042/5 （2017年） [査読] 有 [国際共著論文] 該当しない
[責任著者・共著者の別] 共著者
[著者] [責任著者]M. Yamamoto [共著者]M. Yamamoto, S. Nagaoka, H. Umemoto, K. Ohdaira, T. Nishiyama, H. Horibe
[2]. Decomposition Processes of Photoresist Polymers by H atoms Produced on Hot Wire Surfaces
THIN SOLID FILMS (635)/(num) (27) - (31) （2017年） [査読] 有 [国際共著論文] 該当しない
[責任著者・共著者の別] 責任著者
[著者] [責任著者]H. Umemoto [共著者]H. Umemoto , T. Kato , M. Takiguchi , S. Takagi , H. Horibe
[3]. Hot Metal Wires as Sinks and Sources of B Atoms
THIN SOLID FILMS (635)/(num) (78) - (81) （2017年） [査読] 有 [国際共著論文] 該当しない
[責任著者・共著者の別] 責任著者
[著者] [責任著者]H. Umemoto [共著者]H. Umemoto , A. Miyata
[4]. Enhancement of Removal Uniformity by Oxygen Addition for Photoresist Removal Using H Radicals Generated on a Tungsten Hot-Wire Catalyst
J. Photopolym. Sci. Technol. 29/4 639- 642 （2016年） [査読] 有 [国際共著論文] 該当しない
[責任著者・共著者の別] 共著者
[著者] [責任著者]M. Yamamoto [共著者]M. Yamamoto, K. Maejima, H. Umemoto, K. Ohdaira, T. Shikama, T. Nishiyama, H. Horibe
[5]. A Clean Source of B atoms without Using Explosive Boron Compounds
Bull. Chem. Soc. Jpn. (89)/(num) (899) - (901) （2016年） [査読] 有 [国際共著論文] 該当しない
[責任著者・共著者の別] 責任著者
[著者] [責任著者]H. Umemoto [共著者]H. Umemoto,A. Miyata
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[1]. 演習 基礎から学ぶ大学の化学
培風館 （2018年）
[著書の別]著書（教育）
[単著・共著・編著等の別] 単訳
[著者]梅本 宏信ほか
[2]. 工学基礎化学実験(第3版)
学術図書 （2013年）
[著書の別]著書（教育）
[単著・共著・編著等の別] 共著
[著者]生駒修治,植田一正,梅本宏信,平川和貴,宮林恵子ほか
[3]. 工学基礎化学実験(第2版)
学術図書 （2012年）
[著書の別]著書（教育）
[単著・共著・編著等の別] 共著
[4]. 基礎から学ぶ大学の化学
培風館 （2011年）
[著書の別]著書（教育）
[単著・共著・編著等の別] 単訳
[著者]植田一正,梅本宏信,平川和貴,山田眞吉
[5]. 工学基礎化学実験
学術図書 （2010年）
[著書の別]著書（教育）
[単著・共著・編著等の別] 共著
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[1]. ラジカルの発生とその反応
第１4回Ｃａｔ－ＣＶＤ研究会 （2017年7月） 招待講演
[発表者]梅本宏信
[備考] 開催場所（高松市）
[2]. 水素ラジカルを用いたレジスト除去における酸素添加効果
第１4回Ｃａｔ－ＣＶＤ研究会 （2017年7月） 招待講演以外
[発表者]滝 智洋,山本 雅史,長岡 史郎,梅本 宏信,大平 圭介,西山 聖,堀邊 英夫
[備考] 開催場所（高松市）
[3]. 水素ラジカルを用いたレジスト除去における除去速度の圧力依存性
第１4回Ｃａｔ－ＣＶＤ研究会 （2017年7月） 招待講演以外
[発表者]城井 智弘,山本 雅史,長岡 史郎,梅本 宏信,大平 圭介,西山 聖,堀邊 英夫
[備考] 開催場所（高松市）
[4]. B-atom release from metal wires boronized by non-explosive boron compounds
82nd Annual Meeting of the Society of Chemical Engineers （2017年3月） 招待講演
[備考] 開催場所（Tokyo）
[5]. Hot Metal Wires as Sinks and Sources of B atoms
9th Hot-Wire Chemical Vapor Deposition Conference （2016年9月） 招待講演
[発表者]H. Umemoto,A. Miyata
[備考] Philadelphia, USA
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[1]. 国内共同研究 触媒反応支援プロセス技術の反応種計測と反応過程解析研究
分担 （ 2010年5月 ～ 2016年3月 ）
[2]. 国内共同研究 高密度プラズマ下でのSiH4ベース反応の反応種計測と反応過程解析研究
（ 2008年4月 ～ 2011年3月 ）
[3]. 国内共同研究 高密度プラズマ下でのSiH4ベース反応の反応種計測と反応過程解
（ 2007年8月 ～ 2008年3月 ）
[4]. 国内共同研究 Cat-CVD法によるシリコン系薄膜堆積の研究
（ 2003年4月 ～ 2006年3月 ）
[5]. 国内共同研究 Cat-CVD法による高性能太陽電池用a-Si薄膜プロセス
（ 2003年4月 ～ 2006年3月 ） |
[1]. 加熱金属触媒体上でのジボラン等水素化物の分解過程 （ 2014年4月 ～ 2017年3月 ） 基盤研究(C) 代表
[2]. 触媒反応生成高エネルギー水分子ビームを用いた高品位酸化亜鉛薄膜成長技術の構築 （ 2012年4月 ～ 2015年3月 ） 基盤研究(B) 分担
[3]. 触媒化学気相堆積法の酸化性ガスへの適用 （ 2007年4月 ～ 2009年3月 ） 基盤研究(C) 代表
[4]. 窒化シリコン薄膜の化学気相堆積過程-有機窒化シリコン分子を原料として- （ 2005年4月 ～ 2007年3月 ） 基盤研究(C) 代表
[5]. 触媒CVD法による太陽電池炭化シリコン層作製についての基礎的研究 （ 2003年10月 ～ 2005年9月 ） 特別研究員奨励費 代表
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[1]. Cat-CVDなど新手法による太陽電池の高効率化 （2014年4月 - 2015年3月 ) [提供機関] 科学技術振興機構 [制度名] 戦略的創造研究推進事業
[2]. Cat-CVDなど新手法による太陽電池の高効率化 （2013年4月 - 2014年3月 ) [提供機関] 科学技術振興機構 [制度名] 戦略的創造研究推進事業
[3]. Cat-CVDなど新手法による太陽電池の高効率化 （2012年4月 - 2013年3月 ) [提供機関] 科学技術振興機構 [制度名] 戦略的創造研究推進事業
[4]. Cat-CVDなど新手法による太陽電池の高効率化 （2011年4月 - 2012年3月 ) [提供機関] 科学技術振興機構 [制度名] 戦略的創造研究推進事業
[5]. Cat-CVDなど新手法による太陽電池の高効率化 （2010年10月 - 2011年3月 ) [提供機関] 科学技術振興機構 [制度名] 戦略的創造研究推進事業
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[1]. ホウ素原子を含む化学的活性種の発生方法、及び表面処理方法 [出願番号] 208012 (2015年10月22日)
[2]. 終点検出方法及び終点検出装置、並びに終点検出装置を備えた気相反応処理装置 [出願番号] 254382 (2005年9月2日) [特許番号] 4340727 |
[1]. 第7回Cat-CVD研究会 （2010年6月)
[役割] 責任者(議長、実行委員長等） [開催場所] 浜松市
[備考] 学会主催者（第7回Cat-CVD研究会実行委員会）
[2]. 第6回Cat-CVD研究会 （2009年6月)
[役割] 責任者以外 [開催場所] 金沢市
[備考] 学会主催者（第6回Cat-CVD研究会実行委員会）
[3]. 5th International Conference on Hot-Wire CVD (Cat-CVD) Process, International committee member （2008年8月)
[役割] 責任者以外 [開催場所] Cambridge (USA)
[備考] 学会主催者（Comittee of 5th International Conference on Hot-Wire CVD (Cat-CVD) Process）
[4]. 第5回Cat-CVD研究会 （2008年6月)
[役割] 責任者以外 [開催場所] 相模原市
[備考] 学会主催者（Cat-CVD研究会）
[5]. 第4回Cat-CVD研究会 （2007年6月)
[役割] 責任者以外 [開催場所] 北九州市
[備考] 学会主催者（Cat-CVD研究会）
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