[1]. Three-Dimensional Numerical Simulation on the Effects of a Rotating Brush on Liquid Film Flow and Chemical Distribution over a Rotating Disk Using OpenFOAM International Journal of Automation Technology 19/5 890-899 (2025) [Refereed] refereed [Internationally co-authored papers] non-internationally co-authored paper [Lead author or co-author] co-author [Author] Y. Jinbo, N. Okuma, E. Okubo, Y. Hongo, T. Mano, T. Sanada [2]. Liquid Film Structure Formed by Two-Fluid Jet Impingement on a Rotating Disk Journal of Photopolymer Science and Technology 38/2 117-120 (2025) [Refereed] refereed [Internationally co-authored papers] non-internationally co-authored paper [Lead author or co-author] author [Author] J. Ikegaya, N. Doi, S. Takahashi, M. Imai, T. Sanada [3]. 70/5 295-300 (2025) [Refereed] non-refereed [Internationally co-authored papers] non-internationally co-authored paper [Lead author or co-author] author [Author] 真田 俊之, 小篠 諒太 [4]. Observation of Liquid Movement during PVA Brush Deformation in Post-CMP Cleaning ECS Journal of Solid State Science and Technology 14/ 024007 (2025) [Refereed] refereed [Internationally co-authored papers] non-internationally co-authored paper [Lead author or co-author] author [Author] M. Miwa, S. Suzuki, K. Ryota, T. Sanada [DOI] [5]. Three-dimensional numerical simulation of the single-wafer spin rinsing process using OpenFOAM Japanese Journal of Applied Physics 64/1 01SP25 (2025) [Refereed] refereed [Internationally co-authored papers] non-internationally co-authored paper [Lead author or co-author] co-author [Author] Y. Jinbo, T. Sanada [DOI]
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[1]. (2006) [Book type]book(educational) [Sole author, co-author, or author and editor] joint work [Notes] 共著担当箇所(2.2節 生体流体工学 24-32)
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[1]. ロールスクラブ洗浄におけるブラシ接触挙動制御による粒子排出性能の向上 日本機械学会 関東支部第32期講演会 (2026/3/) other [Presenter]西智也, 小篠諒太, 美和誠人, 真田 俊之 [2]. 体積変化に誘起された PVA ブラシ表面近傍の液体挙動の可視化 日本機械学会 関東支部第32期講演会 (2026/3/) other [Presenter]美和誠人, 小篠諒太, 真田俊之 [3]. 光ファイバー液膜センサーを用いた二流体ジェット噴射面の液膜流れの膜厚分布及び界面形状の計測 日本機械学会 関東支部第32期講演会 (2026/3/) other [Presenter]渡部真将, 高橋広毅, 今井正芳, 西智也, 真田俊之 [4]. ブラシスクラブを用いたCMP後洗浄のメカニズムと高性能化 プラナリゼーションCMPとその応用技術専門委員会第223回研究会 (2026/3/) invited [Presenter]真田俊之 [5]. 枚葉式ウェットプロセスのための流体力学 界面ナノ電子化学研究会育成WG (2026/3/) invited [Presenter]真田俊之
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[1]. 気泡列の安定性評価による気泡クラスター形成機構の解明 ( 2024/4 ~ 2027/3 ) Grant-in-Aid for Scientific Research (B) leader [2]. 蒸気中の液滴固体面衝突における凝縮効果によるsplash発生抑制機序の解明 ( 2023/4 ~ 2026/3 ) Grant-in-Aid for Scientific Research (B) member [3]. 脱CO2を目指した誘導帯電技術を用いた新たな半導体デバイス製造プロセスの創出 ( 2023/4 ~ 2026/3 ) Grant-in-Aid for Scientific Research (C) member [4]. 高Oh液滴の固体面衝突直後に発生するsplashの相似則構築とメカニズム解明 ( 2020/4 ~ 2023/3 ) Grant-in-Aid for Scientific Research (B) member [5]. 音波照射による微細孔への液体侵入促進および液置換・乾燥技術への展開 ( 2019/4 ) Grant-in-Aid for Scientific Research (C) leader
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[1]. 液滴生成制御による水と水蒸気の混合噴流の物理力制御 (2014/10 - 2015/1 ) [Offer orgnization] クリタ水・環境科学振興財団 [2]. 流体物理作用のその場観察による洗浄基盤技術の構築 (2013/6 - 2014/1 ) [Offer orgnization] 公益財団法人 畠山文化財団 [3]. 小型水蒸気2流体洗浄機の開発 (2011/4 ) [Offer orgnization] 浜松地域テクノポリス推進機構 [System name] 試作開発支援事業 [4]. 液体を乱さない単一マイクロバブル生成制御法の開発 (2010/4 ) [Offer orgnization] 浜松科学技術研究振興会 [System name] 村田基金研究助成金 [5]. 水蒸気と水の混合噴流による低環境負荷洗浄装置の開発 (2008/4 ) [Offer orgnization] NEDO [System name] 産業技術研究助成事業
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[1]. (2024/11) [2]. (2024/11) [3]. Best paper award (2019/8) [Association] the Japanese Society for Multiphase Flow [4]. (2013/8) [5]. (2013/8)
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[1]. オーガナイズド混相流フォーラム (2013/12) [Role at conference, etc.] other [Site of conference, etc.] 千葉 [2]. ASME-JSME-KSME Fluids Engineering Conference 2011 (2011/7) [Role at conference, etc.] other [Site of conference, etc.] 浜松 [Notes] 学会主催者(日本機械学会,アメリカ機械学会,韓国機械学会)
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[1]. 日本機械学会論文集アソシエイトエディター (2018/4 ) [2]. 学術雑誌等の編集(混相流) (2007/8 - 2010/7 ) [Notes] 編集委員 |